質量流量控制器DP-D07-7B

更新時間：2014-10-22

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質量流量控制器型號；DP-D07-7B

DP-D07-7B型質量流量控制器

儀器簡介：

質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量行地測量和控制。廣泛用于電子藝設備、真空鍍膜、石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

參數：

滿量程流量范圍（N2）	5SCCM～10SLM
控制范圍	2～100％F.S.
閥類型（及閥初始狀態）	電磁調節閥（常閉）
準確度	±1.5％F.S.
線性	±0.5～1.5％F.S.
重復度	±0.2％F.S.
響應時間	≤7sec
作溫度范圍	5～45℃
作壓差	0.1～0.5MPa
耐壓	3MPa
漏氣率	1×10-8atm.cc/sec He
密封材料	氟橡膠（或氯丁橡膠）
電插頭形式	DB15 pin（Female）
接頭選擇	VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4"或φ6、φ3
重量	1.1Kg

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